English
Pусский干式真空泵的應用非常廣泛，主要有以下幾個方面，下面小編帶你了解一下干式真空泵的應用范圍和場景：
1）多晶硅制備過程中的低壓化學氣相沉積;
2）半導體蝕刻工藝。 在這些制造過程中經(jīng)常使用或產(chǎn)生腐蝕性氣體和磨粒;
3）除半導體工藝外，部分工藝過程產(chǎn)生的顆粒，不希望顆粒與泵油混合，希望顆粒從泵內排出，用一定類型的干式機械真空泵達到要求;
4）在化學工業(yè)，醫(yī)藥工業(yè)，食品工業(yè)的蒸餾，干燥，消泡，包裝，防止有機溶劑引起的污染，適合與干式真空泵配套使用;
5）用作普通無油清洗真空系統(tǒng)的前級泵，防止油污染。
干式真空泵主要有以下幾種形式：
雙圓片
雙盤設計與當今最流行和廣泛使用的羅茨泵非常相似。事實上，一些最早的干泵設計是羅茨泵的堆疊。這種多級設計使得氣路非常復雜，并且需要在每個階段有更大的氮氣流量來進行稀釋和隔離。同時，為了達到好的真空度，對各級的通關要求也是非常嚴格的。當然，由于內部壓縮比的增加，這種設計使其功耗相對較低。
三葉草裂片
苜蓿葉形分割設計與雙分割設計相同，只是氣體在一次旋轉中被分成三部分而不是兩部分。兩種設計都有相同的優(yōu)點和缺點。為了進一步降低功耗，一些廠商在選擇兩個直流電機的傳動部分，但這也會導致轉矩減小，重新啟動 - 下降的能力。與雙盤設計一樣，三葉草設計的每個階段都需要較大的氮氣流量來進行稀釋和隔離。
組合（根+爪）
組合（根部+爪部）與根部一起設計，以改善吸氣效率在更高的壓力下吸氣效率。其基本原理和氣路與上一節(jié)所述完全相同。一些廠家將最后的水平設計成明星，這樣的氣體可以分為五個革命，就像三個圓形的分割設計可以分成三個。同樣，在許多過程中，組合設計的每個階段需要更大量的氮氣流作為稀釋和隔離。
外部壓縮式螺絲
在外部壓縮式螺絲設計中，使用一對等距的螺絲。這使內部壓縮最小化，同時保持氣路最短和最簡單。這樣，氣體可以在最短的時間內停留在泵體內。盡管這種設計由于其內部壓縮比降低而導致功耗相對較高，但在許多復雜的半導體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級設計使得氮氣需求非常小且簡單，這使得它在不同工藝中可以互換。在許多清潔過程中，您甚至可以消除氮氣。
內部壓縮式螺絲
除了使用一對非等距的螺絲外，內壓螺絲設計和外壓螺絲設計的基本原理非常相似。螺絲減小的體積使其內部產(chǎn)生壓縮。 由于內部壓縮，該設計將功耗降至與多級泵相當?shù)乃健?然而，在許多工藝中，這種內部壓縮，就像多級泵一樣，很容易造成氣體在泵體中發(fā)生物理和化學變化而凝固或液化。
