螺桿真空泵是利用一對螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備,它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品,能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合,在國內(nèi)制藥、化工、半導(dǎo)體等對清潔真空要求較高的企業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
兩螺桿經(jīng)精細(xì)動平衡校正,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,因此泵工作時(shí),相互之間無磨擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無需潤滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合,極限真空更高,消耗功率更低,具有節(jié)能,免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。
傳動軸連接主動轉(zhuǎn)子,通過同步齒輪帶動從動轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn),在殼體上開有冷卻水通道,用來冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度,同步齒輪及軸承用油潤滑,軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達(dá)到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機(jī)在密封和潤滑上結(jié)構(gòu)類似,一般真空泵的排氣端用機(jī)械式密封件,進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動方式上,目前通用的是直連電機(jī),用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接,極少數(shù)用皮帶或者傳動鏈傳動。 等螺距螺桿泵由于無內(nèi)壓縮過程,排氣溫度非常高,如冷卻效果不好,會造成轉(zhuǎn)子和機(jī)殼變形,影響抽氣效果。冷卻機(jī)殼是必不可少的一個(gè)環(huán)節(jié),水冷是最常見的方法,在機(jī)殼本體、軸承外側(cè)通冷卻水,可以達(dá)到冷卻殼體進(jìn)而冷卻轉(zhuǎn)子的目的。